高溫氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品時(shí)間：2024-06-18

簡(jiǎn)要描述：

高溫氣體質(zhì)量流量控制器
型號：MC-DG910HT
這款產(chǎn)品流體經(jīng)過(guò)部分采用全金屬密封，
控制部分和過(guò)流部分開(kāi)設計，
介質(zhì)工作溫度可達120℃
在半導體、鍍膜、太陽(yáng)能多晶硅制程中有廣泛的應用

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高溫氣體質(zhì)量流量控制器

品牌：WAWICK

型號：MC-DG910HT

傳輸速度：9.6KBaud - 38.4KBaud

支持±15VDC或＋24VDC供電使用

適用原廠(chǎng)RS485 ASCII通訊協(xié)議

可通用Modbus-RTU協(xié)議

配置兩個(gè)RJ11通訊接口，可實(shí)現多個(gè)MFC串聯(lián)使用

可通過(guò)Modbus或RS485控制軟件編輯設備地址和傳輸速度單條總線(xiàn)可實(shí)現最多125臺MFC鏈接

單條總線(xiàn)可實(shí)現最多125臺MFC鏈接

可配OLED集成控制面板，實(shí)現無(wú)工具獨立控制與配置設備

注1：高溫氣體質(zhì)量流量控制器為全金屬密封設計。在50-90 degC溫度范圍，選用中小流量型號

（MC- DG910/MC-DG911）。在90-120 degC溫度范圍，選用大流量型號（MC-DG912）。

注2：高溫MFC支持沃威產(chǎn)品下的所有通訊協(xié)議，具體選型見(jiàn)前頁(yè)或聯(lián)系銷(xiāo)售代表。